ST-21型方塊電阻測(cè)試儀是一種依照類似的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專門(mén)測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。

該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。

ST-21型方塊電阻測(cè)試儀特點(diǎn)：

采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測(cè)量準(zhǔn)確穩(wěn)定，低功耗；

以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；

采用單個(gè)電池供電，帶電池欠壓指示；

體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；

特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測(cè)材料及保護(hù)薄膜

探頭帶抗靜電模塊

測(cè)量范圍

按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔：
1.方塊電阻 1.00～199.99Ω/□；
2.方塊電阻 10.0～1999.9Ω/□；
ZUI小分辨率：0.01Ω/□

橫流源：測(cè)量過(guò)程誤差：≤±0.8%

模擬轉(zhuǎn)換器：量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；

測(cè)量不確定度：在整個(gè)量程范圍內(nèi)，測(cè)量不確定度≤5%

四探針探頭規(guī)格：間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ

電源9V疊層電池1節(jié)